2D and 3D Numerical Modelling of FZ Large Silicon Single Crystal Growth

Relation between Growth Process and Crystal Quality

verfasst von
Alfred Mühlbauer, Andris Muiznieks, Georg Raming, Gundars Ratnieks
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Anzahl der Seiten
6
Publikationsdatum
2001
Publikationsstatus
Veröffentlicht