Design optimization of induction heater in planetary reactors for semiconductor industry

verfasst von
Alexandre Nikanorov, Bernard Nacke, T. Zedler
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Seiten
505-510
Publikationsdatum
2015
Publikationsstatus
Veröffentlicht